金属積層Siプラズモン導波路における温度上昇の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Evaluation of Temperature Rise in Si Plasmonic Waveguide Heaters Loaded with Metal Thin Film
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 1119-1119, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会