表面波プラズマ生成アンテナへのDCパルス電圧印加時における絶縁表面電位の時間変化
書誌事項
- タイトル別名
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- Temporal Variation of Surface Potential on Insulated Film During DC Pulse Voltage Application to an Antenna of Surface-wave Plasma
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 1794-1794, 2019-09-04
公益社団法人 応用物理学会