高濃度SiドープGaNの深さ方向結晶性の赤外およびラマン分光評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Evaluation of crystallinity in the depth direction of highly Si doped GaN by IR and Raman spectroscopy
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 3183-3183, 2019-02-25
公益社団法人 応用物理学会