Influence of Focusing Position on Micro-grooving Formation onto Metal Surface by High-speed Scanning of Angled CW Laser Irradiation

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  • 斜め照射CWレーザの高速走査による金属表面への微細溝形成に焦点位置が及ぼす影響

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<p>連続発振近赤外レーザを金属表面に対して斜め照射で高速走査すると入射側に盛り上がり，反射側に微細溝をともなう微細表面加工が可能となる．この現象にはレーザ光の焦点位置が大きく作用して形成される構造が変化するが，その詳細な形成メカニズムは明らかとなっていない．そこで，レーザ光照射部を高速度観察することで，レーザ光の焦点位置が表面微細構造形成に及ぼす影響を検討し，その形成メカニズムを議論した．</p>

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