マイクロ波アンテナへのDCパルス電圧印加による表面波プラズマの電位制御

DOI

宇田川洸

名大工
福田奨

名大工
鈴木陽香

名大工
田内裕基

神戸製鋼所
豊田浩孝

名大工

書誌事項

タイトル別名

Potential Control of Surface Wave Plasma by Applying DC Pulse Voltage to a Microwave Antenna

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 1855-1855, 2018-09-05

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390293434337548800
DOI

10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_1855
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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