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GaN系絶縁膜制御技術
DOI
小出 康夫
物質・材料研究機構
生田目 俊秀
物質・材料研究機構
色川 芳宏
物質・材料研究機構
三石 和貴
物質・材料研究機構
書誌事項
タイトル別名
Control techiniques of gate dielectrics for GaN-related devices
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 30-30, 2018-09-05
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
20p-CE-6
特別シンポジウム
GaNのエピタキシャル成長とデバイス科学
ワイドギャップ半導体
GaN
絶縁膜
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390293434338474112
DOI
10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_30
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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