LiTaO<sub>3</sub>/水晶構造における縦型リーキーSAW共振特性の解析 -スプリアス応答の電極膜厚依存性-
書誌事項
- タイトル別名
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- Analysis of resonance properties of longitudinal leaky SAW on LiTaO<sub>3</sub>/quartz structure -Electrode film thickness dependence of spurious response-
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 412-412, 2018-09-05
公益社団法人 応用物理学会