YSZ基板上InGaNおよびInAlN薄膜の成長とMISFET応用
書誌事項
- タイトル別名
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- Epitaxial growth of InGaN and InAlN films on YSZ substrates and its application to metal-insulator-semiconductor field-effect transistors
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 3581-3581, 2018-03-05
公益社団法人 応用物理学会