モノリス状イオン交換体の超純水分野への適用

DOI Web Site 参考文献8件
  • 蔦野 恭平
    オルガノ株式会社　開発センター　高純度技術G

書誌事項

タイトル別名
  • Application of Monolithic Ion Exchange resins for the field of Ultrapure Water

説明

<p>超純水は，半導体を始めとする電子デバイス製造，原子力発電，医製薬工業，バイオテクノロジー，化学分析など様々な産業で使用されている。特に，電子デバイス製造分野において，超純水は洗浄用水として多量に使用されており，製品の歩留まり向上，集積度の向上に極めて重要な役割を果たしている。近年では，微細加工技術の進歩に伴い，超純水の更なる高純度化および低濃度の水質管理が求められている。我々は連通孔を持つ多孔質イオン交換樹脂（モノリス状イオン交換体）を合成し，水処理用途や合成触媒用途などへの展開を進めてきた。モノリス状イオン交換体は，粒状のイオン交換樹脂と比較して比表面積が大きいために，イオン交換速度が高いという特長を確認した。この特性を利用し，超純水中の微量金属分析技術向けの吸着体としての適用を検証し，pg/Lレベルの分析技術を確立した。</p>

収録刊行物

参考文献 (8)*注記

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ