c-BN薄膜成長における基板面方位の影響

DOI

平間一行

NTT物性研
谷保芳孝

NTT物性研
山本秀樹

NTT物性研
熊倉一英

NTT物性研

書誌事項

タイトル別名

Effect of substrate surface orientation on c-BN thin-film growth

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 3362-3362, 2017-08-25

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390293943110339456
DOI

10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_3362
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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