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溝加工(10-10)GaN基板上へのGaN選択横方向成長
DOI
岡田 俊祐
三重大
岩生 浩季
三重大
三宅 秀人
三重大
平松 和政
三重大
書誌事項
タイトル別名
Epitaxial lateral overgrowth of GaN on trench patterned (10-10) bulk GaN substrates
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 3401-3401, 2017-03-01
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
15a-503-10
結晶工学
III-V族窒化物結晶
成長(MOVPE)
窒化ガリウム(GaN)
自立基板
有機金属気相成長法
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390294186615104640
DOI
10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3401
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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