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MoSi<sub>2</sub>-Si複合体薄膜の電気伝導機構
DOI
下薗 宏祐
同志社大院理工
木谷 遼介
同志社大院理工
佐藤 祐喜
同志社大院理工
吉門 進三
同志社大院理工
書誌事項
タイトル別名
Mechanism of Electrical Conduction for MoSi<sub>2</sub>-Si Composite Thin Films
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 1436-1436, 2016-09-01
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
13p-P7-14
薄膜・表面
薄膜新材料
新材料・新技術・評価手法など
MoSi2
伝導機構
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390295181704002432
DOI
10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1436
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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