インラインマイクロ波プラズマの流路狭小化による液体処理性能向上
書誌事項
- タイトル別名
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- Treatment Efficiency Improvement of Microwave In-Line Plasma System with Narrow Gap of Flow Path
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 1752-1752, 2016-09-01
公益社団法人 応用物理学会