表面活性化接合法によるAl箔/ワイドギャップ半導体接合の電気特性
書誌事項
- タイトル別名
-
- Electrical Properties of Al-Foil/Wide-Gap-Semiconductor Junctions Fabricated by Surface-Activated Bonding
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 2872-2872, 2016-09-01
公益社団法人 応用物理学会