Control of Hybrid Electric-Pneumatic Positioning Device Using Linear Motor and Air Cylinder

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  • リニアモータとエアシリンダを併用した超精密位置決め装置の制御

Abstract

<p>1．圧縮空気の有効エネルギーとエアパワー</p><p>1.1　空気の圧縮と仕事</p><p>生産装置などを駆動するアクチュエータ（例えばステージやシリンダ）の駆動源として，電動モータ・油圧・空気などが必要に応じて使い分けられている。これらの駆動方式は対立するものではなく，用途に合わせて最適なものが選定されるべきである。一つの駆動装置で二つ以上の駆動</p>

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