Electron energy distribution function of nanosecond pulsed discharge

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  • ナノ秒パルス放電が有する電子エネルギー分布関数の解明

Abstract

<p>近年，パルス幅5ns，電圧立ち上がり速度7.5 kV/nsのパルス電圧を発生可能なナノ秒パルス電源が開発され，それを用いたオゾン生成や排ガス処理においては一般的なパルス放電法を凌駕する高い処理効率を有することを実証している。しかしながら，依然としてナノ秒パルス放電プラズマがどのようにオゾン生成に寄与しているのかは明らかでない。そこで，本研究では電圧立ち上がり速度に注目し，分光ストリークカメラを用いることで，電圧立ち上がり速度が異なる２つの電源によって形成されるプラズマが有する電子エネルギー分布関数を比較した。これにより，ナノ秒パルス放電での処理が高効率である所以を定量的に明らかにした。（296字）</p>

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