イオン液体EMIM-DCAイオンビームの表面処理応用に関する検討

DOI

竹内光明

京大院工
星出優輝

京大院工
竹内裕人

京大院工
龍頭啓充

京大院工
高岡義寛

京大院工

書誌事項

タイトル別名

Consideration on Application of Ionic Liquid EMIM-DCA Ion Beams for Surface Modification

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 1648-1648, 2016-03-03

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390295447133687936
DOI

10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1648
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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