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イオン液体EMIM-DCAイオンビームの表面処理応用に関する検討
DOI
竹内 光明
京大院工
星出 優輝
京大院工
竹内 裕人
京大院工
龍頭 啓充
京大院工
高岡 義寛
京大院工
書誌事項
タイトル別名
Consideration on Application of Ionic Liquid EMIM-DCA Ion Beams for Surface Modification
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 1648-1648, 2016-03-03
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
20p-H137-11
ビーム応用
イオンビーム一般
イオン・固体相互作用
窒化炭素
低損傷
メタルフリー
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390295447133687936
DOI
10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1648
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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