Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>中の水素分布評価 ー熱処理温度依存性ー
書誌事項
- タイトル別名
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- Hydrogen Distribution Analysis in Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Film -Dependence of Annealing Temperature-
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 2902-2902, 2016-03-03
公益社団法人 応用物理学会