Sintered Tantalum Carbide Coatings on Graphite Substrates: Highly-Reliable Protective Coatings for Bulk and Epitaxial Film Growth

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  • 焼結法による炭化タンタル被覆黒鉛材 ~バルク成長・エピ成膜用の高耐久・高信頼性保護コーティング~

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