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MnドーピングがZnOホモエピタキシャル薄膜成長過程に与える影響
DOI
岩崎 裕徳
大阪府立大院工
野瀬 幸則
大阪府立大院工
吉村 武
大阪府立大院工
芦田 淳
大阪府立大院工
藤村 紀文
大阪府立大院工
書誌事項
タイトル別名
Effects of Mn doping for homoepitaxial growth process of ZnO thin film
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 3836-3836, 2015-02-26
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
13a-P18-2
合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス
薄膜成長
酸化亜鉛
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390296066525286912
DOI
10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3836
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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