DCマグネトロンスパッタ法を用いたβ-MoO<sub>3</sub>(011)エピタキシャル薄膜の作製
書誌事項
- タイトル別名
-
- Fabrication of β-MoO<sub>3</sub>(011) epitaxial thin films using DC magnetron sputtering
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 1198-1198, 2014-09-01
公益社団法人 応用物理学会