大面積マイクロ波プラズマの円筒キャビティ励起の最適化

DOI

長谷川雄一

中部大工
小川大輔

中部大工
中村圭二

中部大工
小林理

アプライドマテリアルズ
菅井秀郎

名産研

書誌事項

タイトル別名

Optimization of Cylindrical Cavity Excitation for Large-Area Microwave Plasma Generation

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 1562-1562, 2014-09-01

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390296420724445696
DOI

10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_1562
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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