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イオンビームアシストMBEによる立方晶BN(111)薄膜の高品質化
DOI
平間 一行
NTT物性研
谷保 芳孝
NTT物性研
狩元 慎一
NTT物性研
山本 秀樹
NTT物性研
書誌事項
タイトル別名
Improved ion-beam-assisted MBE for high-quality cubic BN (111) growth
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 181-181, 2014-09-01
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
19p-C5-10
シンポジウム
窒化物半導体特異構造の科学〜物性評価と結晶学の構築へ〜
立方晶窒化ホウ素
ダイヤモンド
イオンビームアシストMBE
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390296420724637056
DOI
10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_181
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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