層状結晶をテンプレートとしたシリサイド系ナノシート束の作製

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タイトル別名
  • Synthesis of silicide-based nanosheet bundles using layered crystals as templates

抄録

<p>低次元材料は次世代デバイスの新規材料として期待されているが，その大量合成，大型デバイスへの応用が大きな課題の1つとなっている．本稿ではCaSi2などの層状結晶をテンプレートとしたシリコン，シリサイドおよび関連物質のナノシート束の作製について紹介する．厚さ数～数十nm程度のナノシートが束状となったナノシート束から成る粉末，およびSi基板上にマイクロウオール形状に作製したシリサイド束を得た．固相気相反応によるナノシート束作製から，水溶液，金属融液，溶融塩中でのナノシート束作製への進展について紹介する．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 92 (9), 535-539, 2023-09-01

    公益社団法人 応用物理学会

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390297305329584640
  • DOI
    10.11470/oubutsu.92.9_535
  • ISSN
    21882290
    03698009
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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