微細構造基板を利用した超解像イメージングに関する研究（第7報）
書誌事項
- タイトル別名
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- ナノ粒子自己組織化による高空間周波数照明生成構造の創製
抄録
<p>微細構造を持つ基板表面の近接場を用いた構造化照明顕微法は，回折限界によらない分解能で高速に非破壊観察を行えるため，超解像検査等への応用が期待できる．その実現には高空間周波数の構造化照明が必要となるため，本研究では，ナノ粒子の自己組織化膜を照明生成構造に利用することを検討する．検証として，粒子膜により得られる照明分布の解析と，ディップコーティングによるポリスチレンナノ粒子膜の作製を行った．</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023S (0), 366-367, 2023-03-01
公益社団法人 精密工学会