C面サファイア基板のナノスクラッチ特性(第2報)
書誌事項
- タイトル別名
-
- Nanoscratch Characteristics of C-plane Sapphire Substrate (2nd Report)
- Discussion of Scratch Anisotropy in nm Order Feeding
- nmオーダ送りにおけるスクラッチ異方性の考察
抄録
<p>単結晶C面サファイア基板は,単結晶GaNのエピタキシャル成長基板としての用途から,被削性をnmレベルで理解することが重要である.本報では,前報で報告したnmオーダの送りによるC面サファイア基板のナノスクラッチによる被削性の異方性に対し,すべり・双晶系を考慮した考察を実施した.</p>
収録刊行物
-
- 精密工学会学術講演会講演論文集
-
精密工学会学術講演会講演論文集 2023S (0), 744-745, 2023-03-01
公益社団法人 精密工学会