C面サファイア基板のナノスクラッチ特性（第2報）
書誌事項
- タイトル別名
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- Nanoscratch Characteristics of C-plane Sapphire Substrate (2nd Report)
- Discussion of Scratch Anisotropy in nm Order Feeding
- nmオーダ送りにおけるスクラッチ異方性の考察
抄録
<p>単結晶C面サファイア基板は，単結晶GaNのエピタキシャル成長基板としての用途から，被削性をnmレベルで理解することが重要である．本報では，前報で報告したnmオーダの送りによるC面サファイア基板のナノスクラッチによる被削性の異方性に対し，すべり・双晶系を考慮した考察を実施した．</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023S (0), 744-745, 2023-03-01
公益社団法人 精密工学会