Nanoscratch Characteristics of C-plane Sapphire Substrate (2nd Report)
-
- Shimizu Jun
- Ibaraki University
-
- Lin Wangpiao
- Ibaraki University
-
- Yano Naohiko
- Ibaraki University
-
- Saegusa Kengo
- Ibaraki University
-
- Kaneko Kazuki
- Ibaraki University
-
- Zhou Libo
- Ibaraki University
-
- Onuki Teppei
- Ibaraki University
-
- Ojima Hirotaka
- Ibaraki University
-
- Yamamoto Takeyuki
- Ibaraki University
Bibliographic Information
- Other Title
-
- C面サファイア基板のナノスクラッチ特性(第2報)
- Discussion of Scratch Anisotropy in nm Order Feeding
- nmオーダ送りにおけるスクラッチ異方性の考察
Abstract
<p>単結晶C面サファイア基板は,単結晶GaNのエピタキシャル成長基板としての用途から,被削性をnmレベルで理解することが重要である.本報では,前報で報告したnmオーダの送りによるC面サファイア基板のナノスクラッチによる被削性の異方性に対し,すべり・双晶系を考慮した考察を実施した.</p>
Journal
-
- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
-
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2023S (0), 744-745, 2023-03-01
The Japan Society for Precision Engineering
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1390297305329805824
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- JaLC
-
- Abstract License Flag
- Disallowed