シリコン窒化膜の常磁性欠陥に対する熱処理の効果
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JSAP Annual Meetings Extended Abstracts 2013.1 (0), 2635-2635, 2013-03-11
The Japan Society of Applied Physics
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390297372148561536
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- ISSN
- 24367613
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC