1P2-6 球状弾性表面波微量水分計による高純度ガス配管システムの設計パラメータ評価
書誌事項
- タイトル別名
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- 1P2-6 Evaluation of Design Parameters of Pipe Systems for Highly Pure Gases by Ball Surface Acoustic Wave Trace Moisture Analyzer
収録刊行物
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
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超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集 38 (0), n/a-, 2017-10-25
特定非営利活動法人 超音波エレクトロニクス協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390297427378939264
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- ISSN
- 24331910
- 13488236
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- 本文言語コード
- en
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- データソース種別
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- JaLC