HfO<sub>2</sub>/Si構造における界面層作成手法の検討
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.2 (0), 2688-2688, 2012-08-27
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390297681111855744
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- ISSN
- 24367613
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC