界面挿入SiO<sub>2</sub>膜の制御によるhigh-k膜の電気特性変化

DOI

飯田恭朗

東京農工大工
鬼木悠丞

東京農工大工
岩崎好孝

東京農工大工
上野智雄

東京農工大工

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.2 (0), 2305-2305, 2011-08-16

公益社団法人応用物理学会

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CRID

1390298377803535360
DOI

10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_2305
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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