可視光フェムト秒レーザーを用いたワイドギャップ半導体の３次元欠陥観察

DOI

高松耕平

静岡大工
居波渉

静岡大GRL
川田善正

静岡大工
山添昇吾

富士フイルム R&D 統括本部
笠松直史

富士フイルム R&D 統括本部

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.2 (0), 287-287, 2011-08-16

公益社団法人応用物理学会

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CRID

1390298377803825152
DOI

10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_287
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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