多原子分子クラスターイオンのシリコン基板表面に対する照射効果の基板温度依存性

収録刊行物

• 応用物理学会学術講演会講演予稿集

  応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.1 (0), 1741-1741, 2011-03-09

  公益社団法人 応用物理学会