窒化サファイア基板上に成長したAlN 薄膜の微細構造観察

DOI

上野耕平

東大生研
太田実雄

東大生研
藤岡洋

東大生研
福山博之

東北大多元研

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.1 (0), 3639-3639, 2011-03-09

公益社団法人応用物理学会

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CRID

1390298775944805504
DOI

10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_3639
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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