ダイヤモンド電着ワイヤ工具と被削材との接触状態に関する基礎研究

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タイトル別名
  • Fundamental Study on Contact Condition between Electroplated Diamond Wire Tool and Work Material

抄録

<p>半導体や光学部品に用いられる硬脆材料の精密スライシングには，加工効率に優れるダイヤモンド電着ワイヤ工具が多用されてきている．本研究では，ダイヤモンド電着ワイヤ工具と被削材との接触状態に着目し，工具摩耗に伴うワイヤ工具の形状変化が接触状態におよぼす影響について検討する．本報では，ワイヤ工具ー被削材の摩擦係数におよぼす被削材種の影響およぼす加工液の影響等について検討した結果を報告する．</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390299318851979776
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2023a.0_402
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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