4wayラップ盤における定盤の変化とウェーハ挙動の関係に関する研究
抄録
<p>4wayラップ盤は上定盤と下定盤でウェーハを挟んで加工するため．加工部の様子を観察できない．そのため，加工メカニズムについて不明瞭な部分が多い．そこで，本研究ではウェーハ挙動と研磨特性の関係について着目した．上定盤の代わりにアクリル板にすることでウェーハを可視化し，下定盤やキャリアの回転数を変化させて観察を行った．そして，下定盤の回転数とキャリアの自転の回転数がウェーハ挙動に与える影響について検討した．</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 406-407, 2023-08-31
公益社団法人 精密工学会