無酸素銅製・銅鏡の研磨加工
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- 宮下 忠一
- 不二越機械工業 開発研究部 開発研究課
書誌事項
- タイトル別名
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- Polishing Process of Copper Mirror (Oxygen-Free Copper)
抄録
<p>神社へ奉納する御神鏡を磨くという貴重な機会を得た。当社の半導体基板用の研磨装置を使い、無酸素銅製の銅鏡の研磨加工を行った。半導体基板の研磨工程に準じて金属鏡の鏡面加工を進め、銅の表面状態の変化を観察した。また、素材の持つそりが加工や研磨面へ及ぼす影響について調査した。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 420-421, 2023-08-31
公益社団法人 精密工学会