ワイヤ電極を用いた大気圧プラズマによるチャネルカット結晶X線モノクロメータの無歪み化
抄録
<p>硬X線領域で利用される光学素子である結晶モノクロメータは、ブラッグ回折を利用し分光を行う素子であるため、その回折面には結晶完全性が求められる。しかし、難加工形状を有するものは既存の高精度研磨技術の適用が困難である。我々はこれまで、大気圧プラズマを応用した結晶光学素子の無歪み仕上げ加工法を開発してきた。本発表では、電極に極細ワイヤを利用した結晶の狭小領域への加工を検討した結果について報告する。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 573-573, 2023-08-31
公益社団法人 精密工学会