サファイア窒化法により作製した高品質AlN基板上へのホモエピタキシャル成長

収録刊行物

• 応用物理学会学術講演会講演予稿集

  応用物理学会学術講演会講演予稿集 2010.1 (0), 3483-3483, 2010-03-03

  公益社団法人 応用物理学会