ストライプリセスオーミックコンタクトによるInAlGaN/AlN/GaN HEMTのコンタクト抵抗改善とモデル検討
書誌事項
- タイトル別名
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- Contact resistance improvement and modeling of stripe-recessed ohmic contact for InAlGaN/AlN/GaN HEMTs
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2022.1 (0), 2415-2415, 2022-02-25
公益社団法人 応用物理学会