次世代MONOS型混載フラッシュメモリ技術

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タイトル別名
  • MONOS embedded flash memory for future generations
  • ジセダイ MONOSガタコンサイフラッシュメモリ ギジュツ

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説明

<p>マイクロコントローラ（MCU）に混載されるフラッシュメモリには，性能，信頼性，消費電力などさまざまな要求がある．スプリットゲートMONOS型フラッシュメモリ（SG-MONOS）は特に高性能，高信頼性のフラッシュメモリとして長い実績をもつが，本稿では，さらなる高性能化を目指し，先端ロジックで採用されているフィンFET構造を有するSG-MONOSを作製した結果について紹介する．ロジックと同様SG-MONOSにおいても3次元構造の効果が得られ，次世代フラッシュメモリとして期待される．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 88 (6), 389-393, 2019-06-10

    公益社団法人 応用物理学会

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