ゲート変調イメージングによる有機TFTアレイの一括評価技術

DOI Web Site
  • 堤 潤也
    国立研究開発法人産業技術総合研究所 フレキシブルエレクトロニクス研究センター
  • 松岡 悟志
    国立研究開発法人産業技術総合研究所 フレキシブルエレクトロニクス研究センター 筑波大学 大学院数理物質科学研究科
  • 長谷川 達生
    国立研究開発法人産業技術総合研究所 フレキシブルエレクトロニクス研究センター 東京大学 大学院工学系研究科 物理工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • A bulk measurement technique for organic thin-film transistor arrays by a gate modulation imaging technique
  • ゲート ヘンチョウ イメージング ニ ヨル ユウキ TFT アレイ ノ イッカツ ヒョウカ ギジュツ

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抄録

<p>有機半導体内にキャリヤを蓄積すると，その光透過（反射）率はごくわずかに変化する．本稿では，イメージセンサによりこのような微小変化を捉え，動作する有機薄膜トランジスタ（TFT）アレイの性能分布をイメージ化し高速・一括に評価する，ゲート変調イメージング法について解説する．印刷技術を用いたデバイス製造技術（プリンテッドエレクトロニクス技術）への応用に向けて，多数の有機TFTで構成されたアクティブバックプレーンの性能分布を非破壊・高速・一括評価した実証実験を紹介する．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 85 (12), 1037-1041, 2016-12-10

    公益社団法人 応用物理学会

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