超高<i>Q</i>値シリコンフォトニック結晶光ナノ共振器の進展

DOI Web Site
  • 髙橋 和
    大阪府立大学 大学院工学研究科 電子物理工学分野
  • 岡野 誠
    国立研究開発法人産業技術総合研究所
  • 浅野 卓
    京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻
  • 野田 進
    京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Progress of ultrahigh-<i>Q</i> optical nanocavities using a silicon photonic crystal
  • 超高Q値シリコンフォトニック結晶光ナノ共振器の進展
  • チョウコウQチ シリコンフォトニック ケッショウ ヒカリ ナノ キョウシンキ ノ シンテン

この論文をさがす

抄録

<p>2次元フォトニック結晶により実現した高Q値光ナノ共振器は，多くの研究者の興味を惹(ひ)きつけてきた．中でも，シリコンナノ共振器は，この15年余り，フォトニック結晶共振器の最高Q値を更新し続けたことにより，光エレクトロニクスの枠を越えて応用研究が進められている．現在では，1000万を超えるQ値が達成されているが，近年では，フォトリソグラフィを用いた大口径基板への大量作製においても，Q値200万が安定して得られている．今後は，さらに幅広い分野での利用が見込まれる．本稿では，この数年間になされたシリコン光ナノ共振器の超高Q値化について紹介する．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 87 (10), 749-753, 2018-10-10

    公益社団法人 応用物理学会

関連プロジェクト

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ