直線集束ビーム超音波材料解析システムによる極端紫外線リソグラフィー用超低膨張ガラスの超精密評価法の開発

DOI Web Site 参考文献22件
  • 櫛引 淳一
    東北大学大学院 工学研究科 電気・通信工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Development of superprecise evaluation method for EUVL-grade ultralow-expansion glass using line-focus-beam ultrasonic material characterization system
  • 最近の展望 直線集束ビーム超音波材料解析システムによる極端紫外線リソグラフィー用超低膨張ガラスの超精密評価法の開発
  • サイキン ノ テンボウ チョクセン シュウソク ビーム チョウオンパ ザイリョウ カイセキ システム ニ ヨル キョクタン シガイセン リソグラフィーヨウ チョウテイボウチョウ ガラス ノ チョウセイミツ ヒョウカホウ ノ カイハツ

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抄録

<p>次世代の極端紫外線リソグラフィー（EUVL）技術においては，超均質なゼロ膨張ガラスの開発が要である．その評価・分析のために，直線集束ビーム超音波材料解析システムを用いた新しい超音波手法を提案している．本方法は，「試料表面」に励振・伝搬される弾性表面波モードを用いて，非破壊・非接触的に二次元的にきわめて高い精度で速度測定できるという特徴を有しており，EUVLグレードのガラスの研究開発，生産ロットの品質管理・選別における標準評価法として期待できる．本稿では，市販のTiO2-SiO2 超低膨張ガラスを取り上げ，その有用性と実用性を検証した結果をまとめている．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 76 (7), 771-775, 2007-07-10

    公益社団法人 応用物理学会

参考文献 (22)*注記

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