ヘリウムイオン顕微鏡像の走査電子顕微鏡像との比較

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書誌事項

タイトル別名
  • Image comparison with helium ion microscopy and scanning electron microscopy

説明

<p>ヘリウムイオン顕微鏡は走査型電子顕微鏡(SEM)とよく似ているが、作動距離を大きく取っても高倍率像を得ることができ、被写界深度が深い、低いイオン照射量で観察でき低損傷である、などの利点を有するため、SEMではうまく観察できない試料を観察するために利用されているが、両者の像コントラストは同一ではない。様々な材料を同一条件で観察し比較することにより、像コントラストの原因の違いを検討した。</p>

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390564227328520960
  • NII論文ID
    130007737610
  • DOI
    10.14886/jvss.2019.0_1ga04
  • ISSN
    24348589
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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