Study of Surface Modification of used Cerium Oxide Abrasive by Laser Irradiation
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- Kato Teruko
- RIKEN
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- Kasuga Hiroshi
- RIKEN
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- Watanabe Kowashi
- RIKEN
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- Uehara Yoshihiro
- RIKEN
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- Ohmori Hitoshi
- RIKEN
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- Motegi Toshiki
- Institute of Technologists
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- Joya Tsubasa
- Institute of Technologists
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- Horiuchi Tsutomu
- Institute of Technologists
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- Koizumi Toshiro
- Lastech.Co., Ltd
Bibliographic Information
- Other Title
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- レーザー照射による使用済み酸化セリウム研磨材の表面改質に関する研究
Abstract
<p>大気中において波長405nm半導体レーザーを乾燥させた使用済み酸化セリウム研磨剤に照射した結果、照射面のSi成分が減少する傾向及びCe成分が増加する傾向が得られた。照射前後の使用済み研磨剤スラリーの模擬的研磨試験を行った結果、レーザー照射後の使用済み研磨剤の研磨特性向上の可能性が示唆された。</p>
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2018S (0), 757-758, 2018-03-01
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390564238017458176
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- NII Article ID
- 130007480576
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed