PE9 浮き構造を用いたZnO/パイレックスガラス複合薄膜構造共振子(ポスターセッション3)

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書誌事項

タイトル別名
  • PE9 ZnO/Pyrex-glass Composite Thin Film Resonator Employing Air-gap

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390564238045933824
  • NII論文ID
    110007461152
  • DOI
    10.24492/iuse.17.0_295
  • ISSN
    24331414
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles

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