白色干渉計測法の原理と応用

DOI Web Site Web Site 参考文献27件
  • 小野寺 理文
    職業能力開発総合大学校　電子制御・信号処理ユニット

書誌事項

タイトル別名
  • Principle of White Light Interferometry and Its Application
  • はじめての精密工学 白色干渉計測法の原理と応用
  • ハジメテ ノ セイミツ コウガク ハクショク カンショウ ケイソクホウ ノ ゲンリ ト オウヨウ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 85 (2), 147-151, 2019-02-05

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (27)*注記

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