格子溝定盤を用いたラップ加工でのミリバブルスラリー挙動に関する研究

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タイトル別名
  • Study on milli-bubble slurry actions for grating groove plate

抄録

<p>格子溝定盤を用いたラッピング加工において，ミリバブルスラリーを用いることにより加工精度及び研磨能率が向上することが報告されている．そこで，本研究では加工精度及び研磨能率向上のメカニズムの解明を目的とし，アクリル板を用いて加工部を流れるミリバブルスラリーを可視化した．これにより，2枚の格子溝定盤間を流れるミリバブルスラリーの挙動について明らかになったことを述べる．</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390564238079046656
  • NII論文ID
    130007602623
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2018a.0_275
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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