半導体配線用 Al 薄膜の結晶粒界品質評価

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• CRID

  1390564238093878912

• NII論文ID

  130007620310

• DOI

  10.1299/jsmetohoku.2018.54.308

• ISSN

  24242721

• Web Site

  https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmetohoku/2018.54/0/2018.54_308/_pdf

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles